GIGAbatch 360/380P

等離子系統 GIGAbatch 360P 與 380P 適用於半導體產業中最嚴苛的需求，且採用相同的腔室幾何結構。360P 型號的腔室直徑為 245 毫米，最多可容納 50 片直徑為 150 毫米的晶圓。 380P 系統的腔室內徑為 300 毫米，因此可容納 25 片直徑為 200 毫米的晶圓。與 M 系列系統的差異在於，P 系列系統符合最高達 100 級無塵室的要求。

GIGAbatch 380P 是一款用於裝卸完整晶圓批次的全自動系統。