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優點

GIGAfab A

最佳等離子體處理效果與製程工程能力
大型平面等離子體源
單晶圓處理
符合 ISO 5 標準
可實現全自動化及與 FOUP 整合
相容於 SECS/GEM

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Gigafab A detail view showing open processing chamber with interior components.

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