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優點

GIGAfab Modular

最佳等離子處理效果與製程工程能力
大型平面等離子體源
單晶圓處理
符合 ISO 6 標準
獨特的模組化系統，提供極致的靈活性與產能

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Gigafab Modular detail view showing green wafer carriers inside the chamber.

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