LuXpector THEA

• 經濟高效的運作：透過智慧化設計、模組化元件及低維護需求，降低總擁有成本 (TCO)。
• 內建可維護性：模組化設計、遠端支援及低維護需求硬體，確保高運作時間與簡易維護。
• 使用者友善介面：透過具備自動校準與分析功能的直覺化介面，即使沒有橢圓偏振光譜儀操作經驗，也能確保操作簡易。
• 靈活整合：非常適合研發或整合至生產線，並支援 SEMI 自動化及 SECS/GEM。
• 無背面反射：(SiC) 對 SiC 晶圓進行精確的薄膜分析，消除背面反射造成的誤差，確保結果可靠。 
• AlGaN 濃度：透過先進的能帶邊緣分析，精確測定 AlGaN 層中的鋁含量。