FZ-14M/FZ-14MG

生產過程中產出的小型多晶樣品，會在氬氣環境下透過感應熔解，並以晶種為基底結晶成單晶。隨後使用光譜分析法對其進行分析。此方法可確定並記錄所生產多晶矽的品質。 由於採用非接觸式熔煉——透過渦輪分子泵產生的高極限真空，並使用超純氬氣作為製程氣體——因此能有效防止製程中的污染。

在 FZ-14MG 型號中，可將矽顆粒置於線圈下方，並利用上部進料口的種晶，透過反向拉晶工藝拉製出用於材料分析的單晶。為此，上部主軸可在 X 軸與 Y 軸方向進行移動。