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主要功能

SiCma

高品質量產，最大尺寸達 12 吋
緊湊型設計
高重複性
高品質標準，實現最高產量
先進的自動化
靈活的裝卸系統
模組化選項，例如渦輪泵及各種測量裝置

因此，SiCma 為在嚴苛的生產環境中生長碳化矽與氮化鋁提供了理想的平台，並可根據具體需求進行個別調整。

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Production hall with technicians assembling SiCma PVT crystal growth systems

技術資料

典型晶體直徑	最大 12 英吋
頻率	6 - 10 千赫
佔地面積 [寬 x 深]	1,200 x 2,500 毫米
高度（含信號燈）	<3,500 毫米
總重量約	1,850 公斤
工作壓力	1 - 900 毫巴
最高工作溫度	2,400 °C
材料	3C-SiC；4H-SiC；6H-SiC、AlN；……

下載產品手冊

線圈提升裝置

渦輪分子泵

熱區旋轉

上、下測溫儀

氫氣管線

多種軟體選項

下載產品宣傳單

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