VEgauge

• 適用於宏觀與微觀表面檢測的完全可客製化在線檢測系統
• 空間解析度範圍從亞微米級至米級，可根據您的特定製程需求量身打造
• 視野範圍、樣品尺寸及系統尺寸皆可依據您的生產配置進行定義
• 近即時評估，提供快速製程回饋
• 對薄膜、缺陷、污染物及表面粗糙度進行無損、全表面（100%）檢測
• 層厚分析範圍從 1 奈米至 500 微米，可針對您的材料堆疊進行配置
• 針對特定基板進行校準：半導體、金屬、聚合物、陶瓷、玻璃等
• 可擴展至平行生產線：同時部署多套系統，每套皆可獨立配置
• 無縫整合至現有生產工作流程
• 透過 VEsolve^® pro 軟體實現集中式資料管理與控制