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SAM Auto Wafer

Auto Wafer 系列具備直觀易用的圖形化介面,確保使用者能輕鬆運用晶圓自動化系統的強大功能。此系統依據半導體產業標準開發,並建構於採用尖端生產技術的中央平台之上,可精準處理 8 吋及 12 吋晶圓,且符合 ISO 5 級潔淨室標準。

 

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View into a scanning acoustic microscope
Robotic gripper during automated wafer transfer in a PVA TePla system.

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