SIRD

• 機器人將晶圓從載具移至測量平台。載具可由操作員手動放置，或透過 OHT 自動放置。
• 該設備會自動調校以獲得最佳測量參數，且不受材料摻雜等級的影響。
• 數據會根據預先定義的測量協議進行記錄，該協議詳細說明了感測區域、解析度及測量模式。
• 測量完成後，晶圓將被送回載具，並開始對測量圖進行自動分析。
• 系統會產生數值資料（例如按類型或強度分類的缺陷計數）及可自訂的報告，並可依需求透過標準 SECS/GEM 協定傳送至主機。