晶圓表面處理系統

• 設計旨在提供最高等級的抗交叉污染能力。
• 根據需求，可透過裝載站、搬運機器人、中間儲存裝置及介質供應系統，在無塵室環境下實現整個製程鏈的高度自動化工作流程。
• 對整個系統進行集中控制，從工作單管理、製程參數定義到所有數據的記錄。
• 提供遠端存取功能，以進行控制與監控。