VEpioneer 系列

• 完全整合、一鍵操作的桌上型高光譜視覺系統，開箱即用
• 單次運行即可完成無損、全表面（100%）檢測
• 測量速度極快，10 秒內即可完成
• 層厚檢測範圍為 1 奈米至 500 微米，視層材而定
• 可對缺陷、污染物及表面特性進行空間解析度識別
• 相容於廣泛的基板類型：半導體、金屬、聚合物、陶瓷、玻璃等
• 透過 VEsolve^® pro 軟體進行集中控制與評估

VEpioneer 宏觀

• 專為肉眼級檢測設計的緊湊型桌面系統
• 可容納最大 360 × 360 毫米的樣品
• 空間解析度為 100 - 300 µm，並提供高解析度掃描模式
• 專用樣品載台與多樣化的客製化選項

VEpioneer micro

• 專為顯微檢測優化的桌上型系統
• 可實現亞微米級空間解析度（視顯微鏡物鏡而定）
• 可處理最大 130 × 130 公釐的樣本
• 操作靈活：可透過搖桿進行手動控制，或透過軟體實現全自動操作

VEpioneer 核心

• 全球最小的全整合式高光譜視覺桌上型系統
• 超緊湊機身，尺寸僅 230 × 200 毫米，重量僅 12 公斤
• 適用於最大 100 × 100 毫米的樣本尺寸
• 提供 100 µm 的空間解析度，是進入高光譜檢測領域的理想入門選擇 

VEpioneer 半導體

• 適用於無塵室的版本（ISO 3級），內建層流FFU
• 專為宏觀晶圓檢測設計，支援 200 mm 及 300 mm 晶圓
• 配備三點式晶圓夾具，確保安全且無污染的操作
• 空間解析度從 300 µm 起，並提供高解析度掃描模式