技術資料
| 測量技術 | ICP-MS（電感耦合等離子體質譜法） |
| 樣品體積範圍 | 500 µl 至 500 ml |
| 化學物質 | HF、HNO₃、H₂O₂、HCl 及其他酸類* |
| 無塵室要求 | ISO 3 或更高等級 |
| 相對濕度 | 50–60 %（無凝結） |
| 溫度 | 18–24 °C |
| 電源需求 | 200–230 V 交流電，50/60 Hz，3 A |
| 認證 | CE、SEMI S2 |
| *若需搭配其他化學品使用，請聯絡製造商。 |
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配備 µSI 的 LiquidPrep 800 專為半導體製造及超純化學作業中 ICP-MS 分析的嚴苛要求而設計。透過自動化校準、樣品稀釋及樣品進樣，該系統減少了每個關鍵步驟的人工干預，從而提供高純度環境所必需的一致性與精確度。
優勢
µSI 是一款位於 ICP-MS 緊鄰處的樣品進樣模組，旨在將最終前處理與測量之間的液體輸送路徑縮至最短。此設計有助於降低樣品前處理完成後的污染風險，並能在更潔淨的輸送條件下將樣品導入 ICP-MS。 透過限制最終導入步驟中的暴露時間，µSI 有助於維持樣品的完整性，以進行超痕量分析。
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