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前端用等离子体前端用等离子体可靠的等离子体烧蚀是每项成功的晶圆生产过程中最关键却常被低估的工艺步骤之一。随着晶圆光刻工艺的日益复杂和微型化，以及多层镀膜、掩模和去掩模工艺的引入，需要一种选择性且专用的灰化工艺。PVA的GIGAbatch和GIGAfab系统能够完美解决这一需求，这些系统目前已在全球许多相关的前端晶圆生产线上发挥着重要作用。产品 …

PlaTeG.Nitride

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脉冲等离子体氮化

脉冲等离子体氮化脉冲等离子体氮化 PulsPlasma® 氮化（PPN）是一种先进的化学热处理工艺，可在钢材表面形成具有极高耐磨性和耐腐蚀性的氮化层。该工艺利用脉冲直流辉光放电，在真空条件下高效分解以氮气、氢气和甲烷为主的环保气体混合物。该创新工艺以气体消耗低、排放极少且完全避免产生有害副产物而著称，既环保又经济高效。 …

等离子体表面处理

等离子体表面处理等离子体表面处理 PVA TePla 是等离子体表面处理领域的领先专家，提供世界一流的技术，并在前端和后端的所有干法刻蚀应用中广受客户认可。

Carbon.Pure

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石墨净化

石墨净化石墨净化由合成石墨、CFC（碳纤维增强碳）和碳毡制成的产品被广泛应用于各类工业领域。这些材料主要用于炉体部件、超高温隔热材料以及由碳纤维增强碳（CFC）制成的装料输送系统。得益于其卓越的耐热性和耐化学性，这些材料也非常适合应用于航空航天和核能技术领域。产品 …

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氟离子清洗

氟离子清洗氟离子清洗氟离子清洗（FIC）是一种化学清洗工艺，广泛应用于航空航天和发电行业，用于清除涡轮部件（尤其是镍基超合金涡轮叶片）表面的氧化物和腐蚀产物。产品联系我们相关行业相关行业我们的氟离子清洗系统我们的氟离子清洗系统联系我们联系我们

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