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Kronos
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垂直梯度凝固法
垂直梯度凝固法 垂直梯度凝固法 垂直梯度凝固(VGF)工艺是一种成熟的晶体生长方法,专为生产单晶半导体而设计。与其他工艺不同,VGF 过程无需移动任何系统组件,仅依靠精确控制的温度曲线进行操作。这一特性使其能够制备出极高纯度且无缺陷的晶体——而这正是众多高科技应用赖以成立的关键基础。 产品    …
SiCma
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物理气相传输法
物理气相传输法 物理气相传输法 物理气相输运法(PVT)是一种成熟的工艺,用于制备高纯度、低缺陷的单晶——尤其是碳化硅(SiC)和氮化铝(AlN)等化合物半导体单晶;这类材料若采用直拉法(Czochralski)等其他工艺,往往无法制备,或仅能极其艰难地制备。凭借其能够实现卓越晶体质量的优势,PVT 技术已成为现代半导体产业的关键要素。PVT 工艺的持续发展(包括 Lely…
FZ-35
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FZ-14M
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区熔法
区熔法 区熔法 区熔工艺(亦称“区熔法”)主要用于制备超高纯度单晶硅(纯度可高达 11N),其产品主要应用于高性能电子器件、微系统技术及半导体技术领域的组件制造。此外,多晶硅产业、光伏产业以及科研研发领域也均受益于这项技术。相比于采用石英坩埚(石英即二氧化硅)的制备方法,区熔工艺的优势在于其氧元素污染水平显著更低;同时,由于无需使用一次性坩埚,还能节省相应的额外成本。 产品…
CGS1218
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柴可拉斯基工艺
柴可拉斯基工艺 柴可拉斯基工艺 …
晶体生长技术
晶体生长技术 晶体生长技术 晶体生长技术是制备高纯度半导体晶体的工艺过程,所制备的晶体是先进电子和光电子器件的基础材料。我们运用尖端技术,确保在可控条件下生长出具有卓越结构和材料性能的晶体材料。这对半导体器件的性能、可靠性以及后续加工至关重要。
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