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超声波无损检测超声波无损检测负责评估检测技术的工程、质量和采购团队面临一个核心挑战：目前很少有方法能够可靠地检测出复杂材料、金属、合金以及多层组件中的亚表面缺陷。光学工具无法穿透不透明结构，而X射线在检测聚合物与金属或金属与陶瓷的界面时往往缺乏对比度。超声波扫描能提供必要的声学对比度，从而检测出直接影响性能和现场可靠性的分层、空洞、裂纹及粘接失效。产品 …

晶圆表面测量系统

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晶圆表面制备系统

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气相分解

气相分解气相分解在硅和化合物半导体技术领域，对材料和工艺纯度的要求日益严格，因此亟需有效的评估方法。气相分解（VPD）技术是一种成熟的检测系统，用于检测晶圆材料中以及硅晶圆表面的化学污染物。对于 SiC、GaAs 等化合物半导体，由于这些材料的化学行为不同，无法应用标准的 VPD…

LuXpector THEA

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椭圆偏振光谱法

椭圆偏振光谱法椭圆偏振光谱法椭圆偏振光谱技术通过测量反射光的偏振状态变化，在表征薄膜方面提供了无与伦比的绝对精度。该技术能够以非凡的深度和精度，提供关于块体材料、单层结构以及复杂多层堆叠结构性质的高度详细信息。这些洞察对于确保多层薄膜结构在广泛的半导体应用中的质量、性能和长期可靠性至关重要。产品 …

SIRD SiC 200

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SIRD

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