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前端用的等離子體前端用的等離子體可靠的等離子體燒灼是每項成功的晶圓生產過程中，最關鍵卻常被低估的製程步驟之一。晶圓光刻技術的複雜性與微型化趨勢，加上多層鍍膜、掩模與去掩模製程，使得選擇性且專用的灰化製程變得不可或缺。PVA 的 GIGAbatch 與 GIGAfab 系統能完美解決此需求，這些系統目前已在全球眾多相關前端晶圓生產線上扮演重要角色。產品 …

PlaTeG.Nitride

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脈衝等離子體氮化

脈衝等離子體氮化脈衝等離子體氮化 PulsPlasma® 氮化處理（PPN）是一種先進的熱化學熱處理技術，能在鋼材表面形成高度耐磨損與耐腐蝕的氮化層。PPN 利用脈衝直流輝光放電，在真空條件下高效分解環保氣體混合物——主要成分為氮氣、氫氣和甲烷。此創新製程以低氣體消耗、排放量極少且完全避免產生有害副產物而著稱，兼具環保與成本效益。 PPN…

電漿表面處理

電漿表面處理電漿表面處理 PVA TePla 是電漿表面處理領域的領先專家，提供世界級技術，並在前端與後端的所有乾式蝕刻應用中廣受客戶青睞。

Carbon.Pure

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石墨純化

石墨純化石墨純化由合成石墨、CFC（碳纖維強化碳）及碳纖維氈製成的產品，廣泛應用於各類工業領域。這些材料主要用於爐體組件、極高溫隔熱材料，以及由碳纖維強化碳（CFC）製成的載體系統。憑藉其卓越的耐熱性和耐化學性，這些材料亦非常適合應用於航太及核能技術領域。產品 …

氟離子清洗系統

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氟離子清洗

氟離子清洗氟離子清洗氟離子清洗（FIC）是一種廣泛應用於航太及發電產業的化學清洗工藝，用於去除渦輪機組件（尤其是鎳基超合金渦輪葉片）表面的氧化物及腐蝕產物。產品聯絡我們相關產業相關產業我們的氟離子清洗系統我們的氟離子清洗系統聯絡我們聯絡我們

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